离子注入陶瓷力学性能的比较研究
用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机对烧结氮化硅、氧化铝及氧化锆陶瓷分别注入5×10<”16>~1×10<”18>ions/cm<,2>钛离子.用纳米压痕法对陶瓷注入层的力学性能测定表明,不同结构陶瓷注入钛离子后纳米硬度和杨氏模量随注入剂量的变化所受影响不同:氧化铝和氧化锆陶瓷在注入离子剂量较小时,纳米硬度随注入剂量增大而增大,但当注入钛离子剂量较大时,纳米硬度随注入剂量减小;氮化硅陶瓷纳米硬度和杨氏模量随钛离子注入剂量的增加逐渐增大.材料组成和显微分析表明,这是由于不同陶瓷注入钛离子后发生的效应不同引起的.
离子注入 结构陶瓷 纳米硬度 杨氏模量 微观结构 力学性能
苗赫濯 彭志坚 司文捷 齐龙浩 刘大鹏 龚江宏
清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室(北京)
国内会议
佛山
中文
109-112
2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）