MEMS光开关技术进展

摘要：

介绍了MEMS光开关的特点,分析了MEMS光开关的需求背景和应用范围、详细介绍了国内外MEMS光开关及其相关技术发展状况,指出了我国发展MEMS光开关技术的紧迫性和重要意义.

关键词： 光开关 光通信 微电子机械系统

作者: 杨拥军 梁春广

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十二届电子元件学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 83-86

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）