微电子机械系统及超微马达国内外研发动态与应用展望

摘要：

本文概述了微电子机械系统的技术特点,分析了微电子机械系统的市场发展趋势.介绍了微电子机械系统的重要部件超微马达的类型及其优缺点.

关键词： 微电子机械系统 电磁微马达 压电马达 超声马达 静电马达 超微马达

作者: 张琛 陈佳品 李振波

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十二届电子元件学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 109-113

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）