微机电系统中的微电机

摘要：

随着微机电系统开发的深入,作为微机电系统中关键执行部件的微电动机的研制越来越受到关注.文章阐述了微电机的原理、分类及特点.

关键词： 微机电系统 微电机 工作原理 分类特点

作者: 施进浩 陈宝

作者单位: 信息产业部电子第二十一研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十二届电子元件学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 103-108

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）