硅垫层材料的释气规律研究

摘要：

利用TG-IR以及GC-MS与固相微萃取相结合的方法研究了不同结构的硅垫层的释气规律.结果表明:在所有样品的气相富集物中均发现有H<,2>O、CO<,2>等无机组分及部分有机组分;在100℃下富集的气相组分同200℃下具有类似的实验结果,但200℃下个别样品的有机组份增多.

关键词： 释气规律 固相微萃取 硅垫层材料 泡孔结构

作者: 左玉芬 程克梅 韦力元 王丽燕 彭强

作者单位: 中国工程物理研究院化工材料研究所(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国高分子材料工程应用研讨会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 359-366

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）