提高FeNi42合金蚀刻性和强度的机理研究

摘要：

FeNi42合金是一类重要的集成电路引线框线架材料,随着集成电路的发展,对引线框架材料的强度和蚀刻性都提出了更高的要求.本项目研制了一种应用于集成电路引线框架的含Nb、Zr的FeNi42合金,它比传统的FeNi42合金具有更高的强度、更好的蚀刻性,并对影响其强度和蚀刻性的机理进行了初步探讨.

关键词： 集成电路 引线框架 蚀刻性 镍铁合金 强度机理

作者: 张荣 王宏燕 陶志刚

作者单位: 北京首钢冶金研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届北京冶金年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 606-611

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）