S-530扫描电镜分辨率下降维修一例

摘要：

如果仪器进入超期服役阶段,元件老化失效问题就会随之而来,本文以S-530扫描电镜为例,介绍了其由于电阻失效变质而引起图像分辨率下降带来的故障.

关键词： 扫描电镜 分辨率 故障维修

作者: 常嗣和

作者单位: 成都理工大学测试中心(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 828-829

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）