利用扫描电子显微镜对BeO电路基片进行失效分析

摘要：

本文针对氧化铍陶瓷介电常数低,介质损耗小、抗热冲击性好等特点,采用S-530型扫描电子显微镜对氧化铍电路基片进行了失效分析.

关键词： 氧化铍陶瓷基片 失效分析 电镜观察 制作工艺 薄膜电路

作者: 王志红 常嗣和 包生祥 宁永功

作者单位: 电子科技大学材料分析中心(四川成都) 成都理工大学电镜室(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 792-793

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）