钛酸锶钡薄膜的电子显微研究

摘要：

本文介绍了一种介电系数高而且性能优异的陶瓷材料——钛酸锶钡的电子显微研究.文章所用BST薄膜是由MOCVD方法在PE/TiO<,2>/Si基底上沉积生成,薄膜成分约为(Ba<,0.7>Sr<,0.3>)TiO<,3>.

关键词： 陶瓷材料 钛酸锶钡薄膜 电镜观察 介电系数

作者: 金红政 朱静

作者单位: 清华大学材料科学与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 687-688

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）