电化学沉积DLC薄膜的AFM研究

摘要：

本文利用原子力显微镜(AFM)对电化学沉积的类金刚石碳膜(DLC)薄膜表面形貌进行观察,并初步考察了该薄膜的摩擦学特性.

关键词： 类金刚石碳膜 电化学沉积 原子力显微镜 结构分析 表面形貌 摩擦性能

作者: 阎兴斌 徐洮 杨生荣 陈淼

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 655-656

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）