高能离子注入聚酰亚胺薄膜表面结构研究

摘要：

本文主要是应用透射电镜研究了Kapton经氦离子注入后表面层的微观结构变化,经过分析,发现kapton原始薄膜经氦离子注入后SAED、HREM都有明显的差别.

关键词： 薄膜材料 聚合物材料 离子注入法 聚酰亚胺薄膜 结构分析 电镜观察

作者: 陈锡花 唐国翌 周惠华 朱静

作者单位: 清华大学材料科学与工程研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 651-652

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）