离子注入对金属纳米薄膜微观结构的影响

摘要：

本文采用SBG-2型真空蒸镀机制备下和Al金属纳米薄膜,并应用原子力显微镜研究了离子注入对金属纳米薄膜晶粒尺寸的影响.

关键词： 膜材料 离子注入技术 金属纳米薄膜 微观结构 显微镜观察

作者: 徐洮 杨生荣 陈淼 薛群基

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 649-650

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）