磁控溅射Fe-N薄膜的微结构研究

摘要：

本文采用反应射频磁控溅射沉积技术合成Fe-N薄膜,并利用电镜观察研究其微观结构,为进一步优化性能提供依据.

关键词： 磁头材料 磁控溅射 Fe-N薄膜 薄膜微结构 电镜观察

作者: 詹倩 贺连龙 李斗星

作者单位: 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 645-646

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）