Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察

摘要：

本文采用多靶磁控反应溅射的方法制备了Nb-Si-N系混合薄膜,研究了Si在Nb-Si-N系薄膜中的存在形式,及其对薄膜的微结构和力学性能的影响.

关键词： 硬质薄膜 NbN薄膜 电镜观察 反应溅射方法 薄膜微结构 力学性能

作者: 韩增虎 胡晓萍 劳技军 李戈扬

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 643-644

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）