NbN薄膜的反应磁控溅射沉积

摘要：

本文应用SPC-350多靶磁控溅射仪制备NbN薄膜,并研究了氮分压对磁控反应溅射NbN薄膜微结构和力学性能的影响.

关键词： 涂层材料 NbN薄膜 磁控溅射 电镜观察 薄膜微结构 力学性能

作者: 韩增虎 赖倩茜 田家万 李戈扬

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 641-642

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）