硬质薄膜显微硬度测量中的载荷选择

摘要：

本文利用高速钢基体上通过反应磁控溅射技术沉积的1.5μm和3.0μm厚的TiN薄膜,采用力学探针技术准确测量硬质薄膜的力学性能.

关键词： 硬质薄膜 探针技术 硬度测量 压入载荷 力学性能

作者: 赖倩茜 田家万 戴嘉维 李戈扬

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海) 上海交通大学高温材料及高温测试教育部开放实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 635-636

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）