纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察

摘要：

本文采用反应溅射法在SPC-350多靶磁控溅射仪制备AlN纳米多层膜,并研究了其界面外延生长的结构特征.

关键词： 薄膜材料 纳米多层膜 外延生长 电镜观察 溅射法 氮化铝

作者: 田家万 劳技军 虞晓江 李戈扬 宁兆元

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海) 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海),苏州大学薄膜材料重点实验室(江苏苏州) 苏州大学薄膜材料重点实验室(江苏苏州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 633-634

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）