Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性

摘要：

本文采用多靶磁控反应溅射方法制备了一系列不同Si含量的Ti-Si-N系复合薄膜,以此来研究薄膜硬度随Si含量和基片温度的变化.

关键词： TiN薄膜 涂层材料 溅射法 纳米复合薄膜 电镜观察 薄膜硬度

作者: 胡晓萍 虞晓江 赖倩茜 李戈扬

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国电子显微学会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 631-632

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）