微电机研究的最新动态与应用展望

摘要：

针对厘米至毫米级微电机,综述近年来国内外在微电机方面的研究进展,展示微电机的应用领域和潜在的市场前景,指出发展微电机尚待解决的主要问题.

关键词： 微电机 微电子工艺 压电材料 阻抗匹配

作者: 李朝东

作者单位: 上海大学(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国小电机技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 76-81

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）