微电子机械系统中的超微电机

摘要：

文章介绍了微电子机械系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机同等.分析了其原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势.

关键词： 超微电机 微电子机械系统 纳米技术

作者: 陈宝 施进浩

作者单位: 中国电子科技集团公司第二十一研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国小电机技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 99-102

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）