微细电火花加工技术的进展

摘要：

本文系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势.比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用,论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用,介绍了微细电火花加工技术在微三维结构制作中的应用.作为一种实用的微细加工技术,微细电火花加工技术已经成为MEMS技术的有力补充,并有望成为微三维结构制作的主流技术之一.

关键词： 微细加工 微细电火花加工 微型装置 加工技术 微三维结构

作者: 赵万生 王振龙

作者单位: 哈尔滨工业大学机电学院(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年中国机械工程学会年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 937-941

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）