基于微机械工艺的平面电机及其制作
为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,本文设计了一种具有双转子结构的平面微电机.两个转子对称分布于定子两侧.转子采用永磁体进行轴向充磁.定子采用平面线圈,线圈之间采用了三相星形连接方式,采用平面型、无槽、集中绕组.是采用微机械的硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的.把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,结果证明电机运转良好.
平面微电机 LIGA工艺 双转子结构 微机械工艺 电机制造
郭占社 吴一辉 张平 梁静秋
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所微机械与集成光学研究室(长春)
国内会议
北京
中文
1299-1304
2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）