MEMS系统级建模与仿真的研究进展

摘要：

系统级建模与仿真是MEMS设计的独特要求,具有重要的理论意义和实际应用前景.文章介绍了MEMS系统级建模与仿真的几种方法和最新研究进展;指出了各种方法存在的问题,提出可能解决问题的途径.

关键词： 系统级仿真 微机电系统 系统级建模 CAD

作者: 孙道恒 马海阳 李文望

作者单位: 厦门大学机电工程系(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年中国机械工程学会年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 265-269

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）