一种新型的MEMS微泵

摘要：

利用扩散阀/喷嘴的流体特性设计了一种无活动阀压电式MEMS微泵;应用小挠度弹性弯曲理论,导出圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程和复合层薄板的中性面位置方程;应用压电理论导出压电薄膜的边缘电场分布;应用微流体力学理论导出微泵单次循环的净流量.结合特定的压电式MEMS微泵模型理论算出其最大流量为958μl/min,与试验结果相吻合,能够满足设计的微通道散热系统要求.

关键词： 扩散阀 微泵 压电效应 流量 微机电系统 微通道

作者: 贾建援 黄新波

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院(陕西西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电子机械工程分会2003年学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 102-105,125

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）