球形微米和纳米级SiO<,2>生产新工艺

摘要：

本文采用直流电弧等离子体技术,熔化和汽化SiO<,2>经骤冷和集尘,制取球形微米和纳米级SiO<,2>,对其工艺流程进行了研究,对纳米级SiO<,2>应用市场进行了分析.

关键词： 直流电弧 等离子体 球形SiO<,2> 电子封装材料 纳米材料

作者: 纪崇甲

作者单位: 中国科学院力学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第三届纳米材料和技术应用会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 76-79

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）