N<,2>、O<,2>对磁控溅射TiOyNx选择性吸收薄膜光学性质的影响

摘要：

光谱选择性吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关键技术.本文就磁控溅射制备氮化钛膜中N<,2>、O<,2>流量变化对溅射过程及膜的性能的影响进行了讨论.

关键词： 氮氧化钛 吸收率 发射率 光谱选择性吸收薄膜 光学性质 太阳能

作者: 陈达 汪保卫 沈辉

作者单位: 华南理工大学材料学院(广州) 中国科学院广州能源研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第三届纳米材料和技术应用会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 601-605

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）