半导体纳米结构的可控生长

摘要：

本文首先对半导体纳米结构,特别是一维量子线,零维量子点及其量子线,量子点超晶格结构的生长制备技术进行介绍,然后讨论如何应用分子束外延技术,SK生长模式,通过对半导体异质结构材料体系等的应变分布设计、生长动力学控制和生长工艺优化等分析和研究.

关键词： 半导体纳米材料 半导体异质结构 可控生长 量子力学效应 分子束外延

作者: 王占国 半导体材料科学重点实验室(北京)

作者单位: 中国科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第三届纳米材料和技术应用会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 4-4

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）