MEMS技术与微型飞行器的设计

摘要：

微机电系统(MEMS)融微电子技术与微机械技术于一体,为无人武器系统的微小型研制提供了可能.为了达到缩小体积的同时还要满足相应的功能要求,微型飞行器的动力装置、导航系统、通信及电子系统均倾向于采用IMEMS器件,目前已具有应用价值的MEMS器件主要有微惯性器件、MMIC、微电机等微机电系统.

关键词： 微机电系统 微型飞行器 单片微波集成电路 IMEMS 导航系统

作者: 高洪民 孙丽凤 霍春宝

作者单位: 北京理工大学(北京) 青岛大学(山东青岛)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电子机械工程分会2003年学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 99-101

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）