脉冲激光技术研制纳米金刚石薄膜以及衬底温度对薄膜的影响

摘要：

利用Nd:YAG固体脉冲激光沉积(PLD)技术在氧气氛围下于α-Al<,2>O<,3>(0001)基片上制备出纳米金刚石(NCD)薄膜.借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化.结果表明:在衬底温度为550℃时,所制备的薄膜均匀、光滑.对薄膜的生长机理作出了分析.

关键词： 纳米金刚石薄膜 脉冲激光沉积 衬底温度 生长机理

作者: 欧阳钢 郭建 颜晓红

作者单位: 湘潭大学材料与光电物理学院(湘潭)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第三届纳米材料和技术应用会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 579-582

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）