多孔硅诱导生长的石板印刷术

摘要：

在半导体硅单晶表面上制作几何图案,是集成线路特种工艺之一,称为石板印刷术.本文研究了在单晶硅上制作纳米级的图案.

关键词： 半导体材料 多孔硅 石板印刷术 集成线路 制作工艺 诱导生长

作者: 李国铮 R.Bruce Lennox

作者单位: 山东大学化学与化工学院(济南) Department of Chemistry,McGill University,Montreal,Quebec,H3A 2K6,Canada

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002”全国光催化学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 43-43

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）