单一稀土氧化物的分步氯化-化学气相传输研究
本文系统研究了单一稀土氧化物(Sc<,2>O<,3>~Lu<,2>O<,3>)分别以AlCl<,3>和KCl为配位体的化学气相传输规律.结果表明,无论是以AlCl<,3>还是KCl为配位体,稀土氯化物的主要沉积温度,同一族中为Sc<,2>O<,3><Y<,2>O<,3><La<,2>O<,3>,而在镧系中,按照镧系收缩,主要沉积温度呈降低趋势.对于同一元素,以KCl为配位体,主要沉积温度高于以AlCl<,3>为配位体的温度.同一族中传输总量大小为Y<,2>O<,3>> Sc<,2>O<,3>> La<,2>O<,3>,而在镧系中,除了CeO<,2>、Eu<,2>O<,3>的特殊性,其余按照从轻稀土氧化物向重稀土氧化物逐渐递增的顺序变化;与AlCl<,3>为配位体相比,以KCl为配位体的传输总量更高.
稀土氧化物 化学气相传输 稀土气态配合物
孙艳辉 何鹏 唐国章 王之昌
河北理工学院冶金系(河北唐山) 东北大学化学系(辽宁沈阳)
国内会议
鞍山
中文
402-405
2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）