工业V<,2>O<,5>半导体薄膜的电学稳定性研究

摘要：

用攀钢工业V<,2>O<,5>溶胶-凝胶为原料,采<”1>用不同涂膜方法、在不同衬底上制备出工业V<,2>O<,5>半导体薄膜.研究了薄膜的电阻率与各种因素的关系.结果表明:热处理条件、放置时间、环境温度、湿度以及涂膜方法对V<,2>O<,5>薄膜电阻率均有较大影响.所制V<,2>O<,5>薄膜是一种很好的半导体薄膜材料.

关键词： 溶胶-凝胶法 V<,2>O<,5> 半导体薄膜 电阻率 稳定性

作者: 杨绍利 徐楚韶 陈厚生 廖代华

作者单位: 重庆大学材料科学与工程学院(重庆) 攀枝花钢铁研究院(四川攀枝花) 攀枝花钢铁(集团)公司(四川攀枝花)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002全国冶金物理化学学术会议

会议地点: 鞍山

会议语种:中文

页码: 262-265

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）