ITO薄膜性能及制成技术的发展

摘要：

近年来,随着显示器件行业的飞速发展,对ITO透明导电膜的各项技术性能和制成提出了新的、更高的要求.本文将对ITO薄膜的基本性能、制成方法和应用进行综述.

关键词： ITO薄膜 显示器件 溅射技术 液晶显示器 导电性能 电弧等离子体法

作者: 许生 颜远全

作者单位: 豪威真空光电子股份有限公司(深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 35-39

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）