LCD替代ODS清洗技术概述

摘要：

本文讨论LCD替代清洗剂及其工艺路线的选择;半水基清洗剂适用于对狭缝液晶及玻璃表面洁净度要求较高的高档LCD,溶剂清洗剂可利用原F113设备高效率低成本清洗LCD,水基清洗剂适用于ITO玻璃清洗和低档LCD的清洗.

关键词： 环保清洗剂 水基清洗剂 半水基清洗剂 溶剂清洗剂 液晶显示器 清洗技术 臭氧层损耗物质

作者: 肖仁亮 刘呈贵

作者单位: 飞世尔科技公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 236-237

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）