新型高精度自动消光椭偏仪

摘要：

在液晶工程技术研究中薄膜参数测定是一项很重要的工作.本文介绍新型自动消光椭偏测量系统结构以及消光角精密度测量系统.

关键词： 自动消光椭偏仪 液晶显示器 消光角测量系统

作者: 朱鹤年 刘玲玲 文亦武 张百哲

作者单位: 清华大学物理系 北京京城清达电子设备有限公司 清华大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 224-225

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）