CRT荫罩制造技术及其应用领域的延伸

摘要：

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀.应用于制造荫罩的精密光刻、精细腐蚀技术可以引伸应用到平板显示、微电子、微机械等许多领域,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力.

关键词： 荫罩 光刻 精细腐蚀 掩膜版 平板显示

作者: 冯克勤

作者单位: 陕西咸阳彩虹集团彩虹电子网版厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 218-219

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）