大型液晶玻璃基板的洗净技术

摘要：

本文介绍在液晶显示屏开发过程中,研究对大型液晶显示器基板主要的洗净技术成果.对清洗玻璃基板时主要清洗部题分类等加以说明.

关键词： 液晶玻璃基板 洗净技术 洗净性能评价 干燥处理

作者: 长山由纪夫

作者单位: 芝浦Mechatronics Corp.

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 213-214

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）