LCD产业乾制程设备之发展现况

摘要：

本文对液晶显示器、彩色滤光片以及有极发光显示器等干制程设备如:红外线炉、紫外线臭氧清洗机、冷却机等作一介绍,同时对涂胶、曝光、烘烤等技术进行研究.

关键词： 液晶显示器 干制程设备 彩色滤光片 红外线炉 臭氧清洗机 冷却机

作者: 黄敏男

作者单位: 志圣工业FPD设备事业部(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 207-209

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）