液晶显示器用高反膜系中TiO<,2>膜的工艺研究

摘要：

本文研究使用双靶磁控溅射设备在线制备高折射率的TiO<,2>膜,制备反射型液晶显示器所需要的大面积高反射率多层膜等.

关键词： 液晶显示器 TiO<,2>膜 高折射率 磁控溅射

作者: 赵来 范垂祯 深圳市真空技术工程研究开发中心(深圳) 高文波 深圳市真空技术工程研究开发中心(深圳) 杨美芹 查良镇 许生

作者单位: 清华大学电子工程系(北京) 深圳豪威真空光电子股份有限公司(深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 205-206

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）