Al合金布线材料Fe掺杂最佳含量的理论分析

摘要：

本文作者对氧化物半导体透明导电薄膜材料最佳掺杂含量问题作过定量理论计算,给出了一个掺杂最佳含量的表达式,定量分析Al-Fe合金布线薄膜中Fe的最佳掺杂含量.

关键词： 薄膜晶体管液晶显示器 布线材料 铝合金 掺杂含量

作者: 范志新 陈玖琳 潘良玉 樊世杰

作者单位: 河北工业大学应用物理系(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 189-190

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）