一种新的非离子注入方法制备多晶硅薄膜晶体管

摘要：

TFT-LCD已成为平板显示的主流.作者尝试了一种新的不采用离子注入的方法制备P-Si、TFT单管器件,并取得了初步成功,测得的电流开关比为10<”4>.

关键词： 多晶硅薄膜晶体管 非离子注入 液晶显示器

作者: 付国柱 张玉 荆海 骆文生 汪永安 吴渊 齐晓薇

作者单位: 长春北方液晶工程研究开发中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 84-84

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）