干涉显微镜不确定度的分析评定

摘要：

本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.

关键词： 干涉显微镜 不确定度 重复性 稳定性 光学仪器

作者: 黄健

作者单位: 中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 12-13

在线出版日期: 2002-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）