超高级别洁净厂房的检测

摘要：

超高级别洁净厂房中各种环境参数(洁净度,温/湿度,风量,风速,压差等)对微电子行业的工艺有着至观重要的作用,直接影响产品的质量.本文介绍了和超高级别洁净厂房有关的分级标准,并且通过对一座大型半导体生产厂0.1微米1级洁净厂房的实际测试,总结了测试超高级别洁净厂房的一般测试项目,并对测试方法和采用的主要仪器进行了总体介绍.

关键词： 洁净厂房 环境参数 洁净度 污染物

作者: 刘俊杰 朱能 高志红

作者单位: 天津大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国暖通空调制冷2002年学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 1454-1457

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）