SMIF/微环境中气滚的数值模拟

摘要：

SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测,本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.

关键词： 气流 数值模拟 标准机械接口 微环境 计算流体力学

作者: 胡雨燕 徐文华

作者单位: 同济大学热能工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国暖通空调制冷2002年学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 940-943

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）