应用P620、P310分析仪实现氟化反应器炉气组分在线分析
P620、P310光谱仪是我厂新近购进的分析仪器,用于对氟化反应器炉气中F<,2>、UF<,6>、HF含量的在线分析.为了全面、深入地了解仪器的测量原理、掌握仪器的校准和使用方法,使仪器能顺利地应用于生产现场,实现对氟化反应器炉气组分的在线分析,并为以后的氟化反应器加料量的自动反馈控制作准备,我们在实验室中利用自制标准样品对P620、P310分析仪进行了多项实验.本文对P620、P310分析仪的测量原理、校准、通讯及其实现在线分析的方法进行了详细的介绍.
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2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）