空心阴极离子镀Ti(A1)N涂层的研究

摘要：

本文利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机研制了Ti(A1)N涂层.性能研究结果表明Ti(A1)N涂层中,A1元素富集于涂层/基材的界面处;该涂层由内表面到外表面的相组成依次为A1、TiN和Ti<,2>N涂层的耐H<,2>SO<,4>溶液(常温)腐蚀性优于TiN涂层、在500℃NaC1盐腐蚀实验中更明显优于TiN层.

关键词： Ti(A1)N 空心阴极离子镀 涂层结构 性能分析

作者: 于力 金柱京 徐家寅

作者单位: 中国科学院金属腐蚀与防护研究所(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99第六届海峡两岸表面精饰联谊会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 176-180

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）