高能加速器陶瓷窗功能膜的研制

摘要：

本文引用离子镀设备,在窗口的陶瓷片上和内外导体上分别镀覆了不同厚度的TiN功能膜,然后对未经过功能膜处理,部分进行功能膜处理以及内外导体和陶瓷窗口均经过功能膜处理的窗口分别进行了各种性能的对比实验.

关键词： 高能加速器 陶瓷窗口 镀膜 镀覆

作者: 于志明 金柱京 于力 徐家寅

作者单位: 中国科学院金属腐蚀与防护研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99第六届海峡两岸表面精饰联谊会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 171-175

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）