稀土Eu掺杂改性的PbZr<,0.52>Ti<,0.48>O<,3>铁电薄膜

摘要：

本文报道了稀土金属Eu掺杂的PbZr<,0.52>Ti<,0.48>O<,3>(PEZT)铁电薄膜的溶胶-凝胶制备及其铁电性能研究.通过优化掺杂剂的含量,获得了具有优良铁电性能的沉积于Pt/Ti/SiO<,2>/Si衬底上的PEZT薄膜.其剩余极化值达40μC/Cm<”2>,漏电流为2×10<”-10>A/cm<”2>(在250kV/cm电场下测得),极化疲劳特性明显改善(经过10<”9>次极化翻转后,剩余极化值仅减少15﹪)等.初步分析了Eu掺杂改性机理.

关键词： 铁电薄膜 锆钛酸铅 稀土元素 掺杂改性

作者: 于艳菊 王福平 赵连城

作者单位: 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院材料物理与化学系(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1912-1916

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）