InP体材料的GDMS测试研究
采用了一种新的质谱方法--辉光放电质谱(GDMS)测试对LEC-InP体材料进行了杂质含量的测试分析.比较了国际主要InP体材料供应商用同样方法测试的数据,以及原材料的质谱数据.说明了材料中主要杂质的可能来源.因为GDMS测试可以非常清楚的了解材料所含杂质情况,并可以明确指导其它光学、电学测试结果分析的合理性.结果表明我们使用磷注入快速合成方法得到的磷化铟体材料的纯度非常高,经过退火完全具备制造非掺杂半绝缘磷化铟材料.进一步对退火前后的非掺杂InP样品的GDMS样品数据将可以更清楚的了解InP材料的半绝缘的形成机理.
半导体材料 磷化铟 辉光放电质谱测试 杂质含量
陈秉克 孙聂枫 杨光耀 谢德良 刘二海 周晓龙 孙同年 普朝光 王良 孙毅之
信息产业部电子第十三研究所(河北省石家庄市) 昆明物理研究所(云南省昆明市) 信息产业部电子四十六研究所(天津市)
国内会议
厦门
中文
59-62
2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）