一种新型光波导阵列电光快速扫描器的研制

摘要：

本文研究了一种新型的光波导阵列电光快速扫描器,分析了它的工作原理,分析了光波导阵列结构对输出光空间分布特性的影响,研究了器件的工艺制作过程及湿法腐蚀工艺的控制精度对器件性能的影响.并通过实验验证了器件的扫描特性,指出这种光波导阵列器件可以实现二维空间快速宽视场窄光束扫描.

关键词： 激光扫描 光波导阵列 电光效应 湿法腐蚀 工艺制作

作者: 吴阿慧 西安电子科技大学(西安市) 石顺祥 西安电子科技大学(西安市) 花吉珍 西安电子科技大学(西安市) 袁凤坡 西安电子科技大学(西安市)

作者单位: 信息产业部电子第十三研究所(河北省石家庄市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 581-584

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）